Эшкабилов Х. ФОРМИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННОГО НИТРИД-ОКСИДНОГО СЛОЯ ПРИ ГАЗОВОМ АЗОТИРОВАНИИ С ПОСЛЕДУЮЩЕМ ПАРООКСИДИРОВАНИЕМ. it [Internet]. 2023 Sep. 10 [cited 2024 Nov. 23];50(02):78-86. Available from: https://ojs.qmii.uz/index.php/it/article/view/424